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半导体材料
半导体材料
书名 :
半导体材料
作者 :
杨树人(著)王宗昌(著)王兢(著)
出版社 :
科学出版社
出版日期 :
2004-03
ISBN :
9787030128171
价格 :
29.17
开本 :
16开
装帧 :
平装-胶订
纸张 :
胶版纸
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内容简介
本书是为大学本科与半导体相关的专业编写的教材。《21世纪高等院校教材:半导体材料(第2版)》介绍主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理,工艺和特性的控制等。全书分11章:第1章为硅和锗的化学制备;第2章为区熔提纯;第3章为晶体生长;第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷;第5章为硅外延生长;第6章为Ⅲ-V族化合物半导体;第7章为Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长;第8章为Ⅲ-V族多元化合物半导体;第9章为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体;第10章为氧化物半导体材料;第11章为其他半导体材料。