奥宏书架 奥宏书架
光纤通信用光电子器件制作工艺基础现代通信技术应用丛书【
书名 : 光纤通信用光电子器件制作工艺基础现代通信技术应用丛书【
作者 : 黄章勇
出版社 : 北京邮电大学出版社有限公司
出版日期 : 2005-02
ISBN : 9787563509652
价格 : 3128.13
开本 : 32开
装帧 : 平装
纸张 : 胶版纸
内容简介
本书较全面地介绍了光纤通信用光电子器件和组件的制作工艺(包括工艺理论基础和可供参考的工艺数据)。它从激光二极管、光探测器、光调制器和半导体光放大器等主要光电子器件的结构入手,论述为实现这些结构所必须的主要制作工艺技术,重点介绍了Si基和Ⅲ-V族化合物基光电子器件的材料制备(包括各种外延生长技术)、光刻和腐蚀、掺杂、介质膜和金属膜制备、器件和组件的组装和封装等工艺技术。