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微电子制造科学原理与工程技术【可开电子发票】

书名 : 微电子制造科学原理与工程技术【可开电子发票】

作者 : 坎贝尔（著）曾莹（译）严利人（译）王纪军（译）

出版社 : 电子工业出版社

出版日期 : 2005-08

ISBN : 9787505383135

价格 : 174.30

开本 : 16开

装帧 : 平装-胶订

纸张 : 胶版纸

修改数据

内容简介

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书还介绍了各种先进的工艺技术，如快速热处理、下一代光刻、分子束外延和金属有机物化学气相淀积等。在此基础上本书讨论了如何将这些单项工艺集成为各种常见的集成电路工艺技术，如CMOS技术、双极型技术和砷化镓技术，还介绍了微电子制造的新领域，即微机械电子系统及其工艺技术。