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硅集成电路工艺基础
硅集成电路工艺基础
书名 :
硅集成电路工艺基础
作者 :
关旭东(微电子学)编著
出版社 :
北京大学出版社
出版日期 :
2014-12
ISBN :
9787301065075
价格 :
277.55
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内容简介
本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。