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微机电系统设计与制造【图书

书名 : 微机电系统设计与制造【图书

作者 : 莫锦秋（著）梁庆华（著）汪国宝（著）王石刚（著）

出版社 : 化学工业出版社

出版日期 : 2004-03

ISBN : 9787502552374

价格 : 118.11

开本 : 16开

装帧 : 平装-胶订

纸张 : 胶版纸

修改数据

内容简介

微机电系统（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术等密切相关，具有体积小、精度高、重量轻、性能可靠稳定、能耗低、灵敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和适于大批量生产，成本低廉等一系列优点，有巨大的应用前景和经济效益，被公认为21世纪的重点发展高科技前沿学科。