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半导体制造技术
半导体制造技术
书名 :
半导体制造技术
作者 :
(美)奎克(Quirk, Michael)著
出版社 :
电子工业出版社
出版日期 :
2014-12
ISBN :
9787505394933
价格 :
0.00
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内容简介
全书共分二十章，内容包括半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、集成电路制造工艺概况等。