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微机械电子系统及其应用
书名 : 微机械电子系统及其应用
作者 : 刘广玉
出版社 : 北京航天航空大学出版社
出版日期 : 2003-02
ISBN : 9787810771832
价格 : 16.00
内容简介
本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和我们近几年研究工作的成果,主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微弱信号检测与处理6部分。全书内容丰富、图文恰当、新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材,也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。