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半导体工艺与测试实验
书名 : 半导体工艺与测试实验
作者 : 谢德英编
出版社 : 科学出版社
出版日期 : 2014-12
ISBN : 9787030436467
价格 : 45.00
开本 : 26cm
页数 : 182
内容简介
本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验,并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。