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半导体工艺与测试实验
半导体工艺与测试实验
书名 :
半导体工艺与测试实验
作者 :
谢德英编
出版社 :
科学出版社
出版日期 :
2014-12
ISBN :
9787030436467
价格 :
45.00
开本 :
26cm
页数 :
182
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内容简介
本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验,并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。