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晶圆级3D IC工艺技术
晶圆级3D IC工艺技术
书名 :
晶圆级3D IC工艺技术
作者 :
陈全胜
出版社 :
中国宇航出版社
出版日期 :
2016-10
ISBN :
9787515912035
价格 :
88.00
开本 :
32开
装帧 :
精装
纸张 :
胶版纸
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内容简介
《晶圆级3D IC工艺技术》是一部系统论述3D集成工艺技术的译著,内容涵盖前端工艺至后端工艺,详细介绍了各种3D集成技术的适用范围和局限性,列举了相关工艺的典型应用和潜在应用,并指出了这些关键工艺中存在的问题与挑战。