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MEMS与微系统��设计、制造及纳尺度工程
MEMS与微系统��设计、制造及纳尺度工程
书名 :
MEMS与微系统��设计、制造及纳尺度工程
作者 :
（美）Tai-Ran Hsu（徐泰然） 著，梁仁荣 等译
出版社 :
电子工业出版社
出版日期 :
2017-03
ISBN :
9787121304996
价格 :
79.00
开本 :
16开
装帧 :
平装-胶订
页数 :
388
纸张 :
胶版纸
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内容简介
同时从电子与机械两个层面介绍MEMS的相关技术。 更大篇幅地介绍了微加工技术以及组装与封装技术。 介绍了微陀螺、微型麦克风与热管的原理。