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微机电系统基础 -原书第2版
书名 : 微机电系统基础 -原书第2版
作者 : (美)贾德勒哈克 (Gad-el-Hak, Mohamed) 主编
出版社 : 机械工业出版社
出版日期 : 2017-03
ISBN : 9787111557333
价格 : 169.00
开本 : 32开
内容简介
本书提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等,还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。