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微机电系统基础 -原书第2版
微机电系统基础 -原书第2版
书名 :
微机电系统基础 -原书第2版
作者 :
(美)贾德勒哈克 (Gad-el-Hak, Mohamed) 主编
出版社 :
机械工业出版社
出版日期 :
2017-03
ISBN :
9787111557333
价格 :
169.00
开本 :
32开
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内容简介
本书提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等,还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。