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微电子工艺技术与仿真王强

书名 : 微电子工艺技术与仿真王强

作者 : 王强

出版社 : 江苏大学出版社

出版日期 : 2018-12

ISBN : 9787568409865

价格 : 35.10

开本 : 16开

装帧 : 平装-胶订

纸张 : 胶版纸

修改数据

内容简介

《微电子工艺技术与仿真》共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长与制备、氧化\/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。每章的编纂既体现了微电子工艺技术的科学性，又通过分析具体的工艺方法，体现了技术性。针对微电子工艺的实践性要求，克服高校因经费问题无法进行实验的不足，《微电子工艺技术与仿真》重点编撰了相关仿真内容，通过仿真实例的设计与分析，让学生对于微电子工艺的各个知识点有感性的认识。