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基于MEMS技术的热梯度器件研究

书名 : 基于MEMS技术的热梯度器件研究

出版社 : 水利水电出版社

出版日期 : 2019-04

ISBN : 9787517072997

价格 : 59.00

开本 : 16开

装帧 : 平装-胶订

纸张 : 胶版纸

修改数据

内容简介

本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸（宽度和厚度）对温