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磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能肖剑荣

书名 : 磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能肖剑荣

作者 : 肖剑荣

出版社 : 水利水电出版社

出版日期 : 2019-04

ISBN : 9787517074397

价格 : 57.00

开本 : 16开

装帧 : 平装-胶订

纸张 : 胶版纸

修改数据

内容简介

磁控溅射是一种通用、成熟的薄膜制备工艺技术，其制备工艺可调剂参数较多，通过精细控制能够实现对薄膜结构的有效调控。本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系，探讨了薄膜的电子输运、光学带隙