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半导体物理与集成电路制程技术

书名 : 半导体物理与集成电路制程技术

作者 : 张国基, 林聿中,潘正祥

出版社 : 中国原子能出版社

ISBN : 9787522101668

价格 : 39.80

装帧 : 平装

修改数据

内容简介

本书以半导体、电场、热场和力场等之间的耦合机理为基础，结合具体的实验，详细研究了半导体相关相应的知识，并结合具体的物理理论知识，深入剖析集成电路技术方面的内涵，进而为半导体与集成电路制程的研究做铺垫，